お客様の品質レベルに応じたケース洗浄を実施致します。
- アルポリケース
- PP-BOX
- 搬送用カーゴ
- フォトマスク搬送用ケース
- 特殊ケース
- 副資材(カバー、ベルト、etc)
- ハードケース
- 搬送パレット
洗浄環境
- <外観洗浄・準クリーン室>
- <内部洗浄・C1000 or C100>
- <梱包・一般室>
洗浄品質
- ■パーティクル(洗浄前)
- ■洗浄後
- ■皮脂(洗浄前)
- ●洗浄液残り・・・・・・・分析の結果残なし
- ●皮脂残り・・・・・・・・分析の結果残なし
- ●金属粉残り・・・・・・・分析の結果残なし
調査機関:株式会社日産アーク /分析条件:元素分析なし /検出限界:1〜5μg