お客様の品質レベルに応じたケース洗浄を実施致します。
- アルポリケース
- PP-BOX
- 搬送用カーゴ
- フォトマスク搬送用ケース
- 特殊ケース
- 副資材（カバー、ベルト、etc）
- ハードケース
- 搬送パレット
洗浄環境
- <外観洗浄・準クリーン室>
- <内部洗浄・C1000 or C100>
- <梱包・一般室>
洗浄品質
- ■パーティクル（洗浄前）
- ■洗浄後
- ■皮脂（洗浄前）
- ●洗浄液残り・・・・・・・分析の結果残なし
- ●皮脂残り・・・・・・・・分析の結果残なし
- ●金属粉残り・・・・・・・分析の結果残なし
調査機関：株式会社日産アーク ／分析条件：元素分析なし ／検出限界：１〜５μg
