新規ラインの立ち上げ、既存装置の老朽化等の課題に最適な装置、産業設備/建築用の消耗品材料、
その他環境に優しい設備をお客様のニーズに合わせてご提供しております。
(中古機器に関しても国内外より調達しご提供致します。)
刳り抜き装置
- ●サファイヤインゴット/シリコンインゴットから直接ウェハーサイズで精度よく刳り抜き仕上げ
- ●ウェハーサイズは現在半導体業界で主流である2・4・6吋に対応
- ●インゴットの円筒研削時間を短縮できて、加工生産性をアップさせる
ベベリング装置
- ●サファイヤウェハー/シリコンウェハーの外周面取り加工
- ●ウェハーサイズは現在半導体業界で主流である2・4・6吋に対応
- ●カセットTOカセットの全自動加工で加工生産性をアップさせる
外周面取検査装置
- ●サファイヤウェハー/シリコンウェハーの外周面取り後の形状測定
- ●ウェハーサイズは現在半導体業界で主流である2・4・6吋に対応